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ニッタエアソリューションズ株式会社

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清浄度監視システム

クリーンルームの清浄度をリアルタイムで監視する2つのシステム

測定ポイント数や対象粒径、コストなどに応じて、クリーンルーム内の清浄度測定をリアルタイムで常時監視するシステムです。センサをポイントごとに設置する常時監視方式と、流路切替方式の2方式を揃えています。

常時監視方式(センサ多点方式)

常時監視方式(センサ多点方式)とは

各測定点にパーティクルカウンタを設置する連続監視用のシステムです。通信は Ethernet(TCP/IP)、アナログ(4-20mA)出力を選択できます。 専用ソフトウェアまたはデータロガー等でデータ管理ができます。

  • リモート パーティクルセンサ
    (7201/7301/7310/7501/7510)

    計測範囲: 0.2~25μm
    吸引流量: 2.83・28.3L/min
    連続監視:多点モニタリング用センサ
    製薬・医療・食品・液晶業界

  • リモートパーティクルセンサ(ポンプ内蔵タイプ)
    6201/6301/6501/6310/6510

    計測範囲: 0.2~25μm
    吸引流量: 2.83・28.3L/min
    連続監視:多点モニタリング用センサ
    製薬・医療・食品・液晶業界

  • リモート パーティクルセンサ 7110
    6201/6301/6501/6310/6510

    計測範囲: 0.1~10μm
    吸引流量: 28.3L/min
    連続監視:多点モニタリング用センサ
    半導体・電子部品・液晶業界

  • モニタリング ソフトウェア FMS5

    温湿度、差圧、風速アナログセンサからのデータ取り込み対応
    FDA21 CFR Part11対応

流路切替方式(マニホールド方式)

流路切替方式(マニホールド方式)とは

パーティクルカウンタ1台で最大32ポイントを測定する切替え方式のシステムです。各測定ポイントまで長さ50mのサンプリングチューブを使用するため、センサーユニット(マニホールド)の設置場所を広範囲で検討できます。将来、測定ポイント増設または移設を行う時もチューブ長50m範囲内で容易に対応ができます。